Вакуумная печь обычно состоит из главного двигателя, камеры печи, электронагревательного устройства, герметичного кожуха печи, вакуумной системы, системы электропитания, системы регулирования температуры и внешнего транспортного средства. Герметичный кожух печи сваривается из углеродистой или нержавеющей стали, а поверхности стыка съемных частей герметизируются вакуумным уплотнительным материалом. Для предотвращения деформации кожуха печи после нагрева и разрушения уплотнительного материала при нагревании кожух печи обычно охлаждается водой или воздухом. Камера печи расположена внутри герметичного кожуха печи. В зависимости от назначения печи камера печи оснащается различными типами нагревательных элементов, такими как резисторы, индукционные катушки, электроды и электронные пушки. Вакуумные печи для плавки металла оснащаются тиглями, а некоторые из них оснащены автоматическими заливочными устройствами и манипуляторами для загрузки и выгрузки. Вакуумная система в основном состоит из вакуумного насоса, вакуумного клапана и вакуумметра.