Система PECVD с тремя зонами нагрева 1200C
Система PECVD с тремя зонами нагрева 1200C

Система PECVD с тремя зонами нагрева 1200C

SK2-CVD-12TPB4 — это трубчатая печь для системы PECVD, состоящая из источника питания RF мощностью 300 Вт или 500 Вт, многоканальной прецизионной системы потока, вакуумной системы и трубчатой ​​печи. Обычно используемая температура составляет 1100 градусов Цельсия или ниже, а ее основными характеристиками являются низкая температура осаждения, высокая скорость, хорошее качество пленки, меньшее количество отверстий и меньшая склонность к растрескиванию. Идеальное устройство для выращивания нанопроводов или приготовления различных тонких пленок методом CVD.
Отправить запрос
Особенность

 

● Максимальная температура RT-1200 градусов

● Печь раздельного типа, можно открыть печь.

● Может вводить более 2 каналов газа со степенью вакуума 10 Па с использованием механического насоса и источника радиочастотной мощности 500 Вт для усиления сигнала.

● Высококачественные изоляционные материалы из алюмокерамического волокна

● Точность контроля температуры ±1 градус

● С функцией оповещения о перегреве

● Охлаждающий вентилятор может снизить температуру корпуса.

 

Модель

СК2-ССД-12TPB4

Размеры: Стандартная длина зоны нагрева (мм)

440мм

Размеры: Стандартный диаметр трубы (мм)

∮60мм

Макс.температура

1200 градусов, постоянная рабочая температура 1100 градусов.

Напряжение(В)

220 1P

Тип термопары

K

Нагревательный элемент

Провод сопротивления из сплава HRE

Точность Темп.

±1 градус

Степень нагрева

0-30 градус/мин свободная регулировка

Материал камеры

Использование передового высококачественного материала из микрокристаллического волокна оксида алюминия

Конструкция печи

Двухслойная конструкция с воздушным охлаждением, температура поверхности менее 60 градусов

Регулятор температуры

Интеллектуальный прибор ПИД-регулирования температуры, 30 программных сегментов, управление SSR, функция самонастройки параметров ПИД; программирование повышения температуры, программирование сохранения тепла, программирование охлаждения

Блок питания ВЧ мощностью 500 Вт

Выходная мощность: 5-500Вт ±1 градус

Частота радиочастот: 13,56 МГц ±0.005%

Отраженная мощность: до 100 Вт

Совпадение: Автоматическое

Радиочастотный интерфейс: 50 Ом, N-тип

Охлаждение: воздушное охлаждение

Электропитание: переменный ток 208-240В, 50/60Гц

4-канальная система точного расхода газа

1. Полная шкала расхода (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) мл/мин. 10 л/мин.

2. Тип клапана: Соленоидный клапан.

3. Положение покоя клапана: нормально закрыто.

4. Перепад давления: (50-300)кПа

5. Сопротивление давлению: 3МПа.

6. Рабочая температура: 5-45 градус

7. Материалы: нержавеющая сталь 316L.

Вакуумная система

5*10-3Па

Быстроразъемное соединение KF25, сильфон из нержавеющей стали, ручной клапан и фланец, вакуумный насос

Опционально могут быть установлены системы с более высоким вакуумом.

image001

ДОБРО ПОЖАЛОВАТЬ OEM/ODM

 

Стандартные аксессуары

 

Термоперчатки|Крюк для тигля|Термопара|Блок трубок|Руководство пользователя|Инструменты|Вакуумный насос|Кварцевая трубка|Фланец|Уплотнительное кольцо|Газовый шланг 10 мм|Фланцевая опора, Газовая система, ВЧ-мощность.

 

Необязательный

 

Различные зоны нагрева по вашему выбору;

Управление с помощью сенсорного ЖК-экрана на выбор

Порт RS485/USB для подключения компьютера по выбору.

 

Детальное изображение CVD-PECVD

 

image003
Блок питания ВЧ мощностью 500 Вт
image005
Вакуумная система
image007
4-канальная система точного расхода газа

 

Приложение

 

Данное устройство в основном используется для выращивания нанопроволок или подготовки различных тонкопленочных материалов методом химического осаждения из газовой фазы.

 

Гарантия

 

Гарантия один год и пожизненная техническая поддержка

Специальные советы:

1. Расходные материалы, такие как нагревательный элемент, кварцевая трубка, тигель для образцов и т. д., не попадают под действие гарантии.

2. Гарантия не распространяется на повреждения, вызванные использованием едких и кислотных газов.

 

горячая этикетка : 1200c трехзонная система PECVD, Китай 1200c трехзонная система PECVD производители, поставщики