Оборудование для нагрева в вакуумной среде. Камера печи соединена трубопроводом с системой высоковакуумного насоса в печи, запечатанной металлическим или кварцевым стеклянным колпаком. Степень вакуума печи может достигать 133×(10-2~10-4)Па. Система нагрева в печи может нагреваться напрямую электрическим нагревом проволоки печи сопротивления (например, вольфрамовой проволоки) или может нагреваться высокочастотной индукцией. Максимальная температура может достигать около 3000 градусов. В основном она используется для обжига керамики, вакуумной плавки, дегазации и отжига электровакуумных деталей, пайки металлических деталей и герметизации керамики и металла.